走访成都入江富乐德：专注半导体产业链，助力本土化生产

微成都报道 国产半导体生产设备制造商正迎来前所未有的发展机遇。

近日，微成都记者探访了位于成都市龙泉驿区的成都入江富乐德精密机械有限公司，深入了解了这家公司在半导体生产设备阀门制造领域的产品。

成都迎半导体产业链企业

成都入江富乐德于今年3月正式开业，专注于波纹管制造和真空阀门制造。

近日，成都入江富乐德阀门设计课副课长于洲，向记者展示了公司的阀门产品，并详细介绍了其技术特点。

在半导体制作工艺中，需要在工艺腔室与腔室之间加装阀门，这些阀门在半导体真空系统和流体系统中起着至关重要的作用，主要体现在以下几个方面：隔离与保护、流量与压力控制、传输与定位以及安全性与可靠性。

于洲指出，目前国内真空阀门制造领域面临的一大挑战是particle的控制。阀门动作的开关会影响真空颗粒的产生，而半导体客户对颗粒的要求极为严格，颗粒不合格会导致不良率显著上升。“我们的阀门具有低振动、低Particle和长寿命的特点。”于洲提到。

成都入江富乐德的阀门在颗粒度控制方面表现出色，连续开合6万次后，产生的颗粒数量仅为10颗。与全球领先的瑞士VAT公司相比，尽管VAT的阀门质量高，但价格昂贵且采购周期长，对于国内企业来说采购难度较大。

“目前，针对12寸小型的半导体阀门，成都入江富乐德正在进行样机测试，包括氦检测试、Particle测试、振动测试和寿命测试。寿命测试已进行了约180万回个动作循环，期间每隔20万回都会进行一次全面的性能测试，以确保阀门在长时间运行下的稳定性和可靠性。该阀门的设计寿命为200万回，成都入江富乐德在寿命测试中设定了更高的目标——即动作达到300万回，以保证其寿命的安全系数不小于1.5。”于洲说。

重视四川本土化生产

作为国产半导体生产设备阀门制造的新企业，成都入江富乐德重视四川本土化生产。

微成都记者了解到，成都入江富乐德的小型阀门生产主要集中在成都。另外，公司大型阀门和波纹管生产则将在四川内江进行，投资超3亿元，占地面积达9000平方米的厂房目前已投入使用。目前，公司客户包括北方华创、中微半导等企业。

天眼查APP显示，成都入江富乐德成立于2023年，为安徽入江富乐德精密机械有限公司全资子公司。股权关系显示，入江工研株式会社与富乐德分别持有安徽入江富乐德51%和49%的股份。

其中，富乐德是一家泛半导体领域设备精密洗净服务提供商，于2022年12月登陆创业板，聚焦于半导体和显示面板两大领域，为半导体及显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净服务，为客户生产设备污染控制提供一体化的洗净再生解决方案。

2023年5月22日，入江工研株式会社与富乐德合资设立安徽入江富乐德，进入真空阀和波纹管产品的生产制造。入江工研株式会社主要提供技术支持，而富乐德则负责管理和运营，公司产品广泛应用于半导体、液晶面板、医疗设备和光伏等多个高科技领域。