第三章 光刻胶,一瓶小小的胶水怎么就 “卡脖子”了呢?

第三章 光刻胶,一瓶小小的胶水怎么就 “卡脖子”了呢?

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欢迎来到我的专栏,我是王颖,本章节,我们就来认识一下市场关注度最高的——光刻胶。光刻胶,听名字就知道这是一种胶水,那这一瓶小小的胶水怎么就 “卡脖子”了呢?让我们来揭开它神秘的面纱吧。


提前说明一下,光刻胶在很多领域都有应用,相应的也就有很多大类,因为我们的主题是半导体材料,所以在本章节中我们主要介绍半导体光刻胶。


在认识光刻胶之前,我们首先要对光刻工艺有一定的了解。


光刻工艺主要由七个环节组成,为了方便大家理解曝光这道工艺,我们举一个简单的例子:

不知道大家小时候有没有玩过这种镭射灯?就是普通状态下会照出一个红色的圆点,然后通过切换前面的转换头,可以在墙上映出不同的图案。曝光和这种玩具非常相似,本质就是光线通过光掩膜和物镜之后,将缩小版的电路图形映射到光刻胶上。

当然,深层的技术要复杂很多,比如激光器发射出光线之后,需要经过矫正、能量控制等工序,才能进入光掩模台。



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