现代经编工艺与设备

本书着重介绍了半导体制造设备，并从实践的角度出发，选取了极具代表性的设备进行讲解。为了让读者加深对各种设备用途的理解，采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式，力求使读者能够系统性地...