4月9日,2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在武汉光谷科技会展中心开幕。海内外化合物半导体产业链领军企业,国内外院士、行业相关专家、企业代表出席盛会。展会期间,九派新闻采访发现,此次展会吸引了部分外地展商,他们不远千里到武汉寻求合作,只因武汉建立的开放式平台,打通了产业全链条,帮他们用最短的时间把产品推到成熟产线。
本次大会的主办方九峰山实验室,是湖北省十大实验室之一,成立3年来,聚焦化合物半导体的研发与创新,在光谷打造一个公共、开放、中立、共享的科研和中试平台。一个多月前,全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在这里正式下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆,单片集成光电收发功能,为目前硅基化合物光电集成最先进技术。“这款产品进行了工艺调试和下线,马上也会运用到真正的商用产品上。它可以代表在微光领域,我们确实能够做到国际领先。”九峰山实验室工艺中心总经理柳俊说,实验室不仅可以自己做研发,其实也是一个开放性平台,在这个平台上,我们可以提供从产品设计到最后检测的一站式服务。
九峰山实验室主任丁琪超介绍,目前实验室已构建了全球最先进的化合物半导体工艺、检测基础设施,拥有4英寸、6英寸和8英寸工艺线,已搭建起完备的材料体系,以及包含7条工艺线的量产级研发流片平台,同步提供材料、设备、EDA软件的验证服务。如今,实验室有上百个项目在同时运转,其中既有联合研发项目,也有实验室基于发展愿景必须攻克的关键核心技术项目。“不仅支撑芯片技术的研发,还助力产业链上下游企业迭代成熟。”丁琪超介绍,目前实验室拥有70多家产业链上的合作伙伴,“他们可利用实验室的科研平台来验证材料、催熟设备、研发软件等,不断进行优化迭代,最终实现更大规模的产业应用。”
武汉驿天诺科技有限公司展位。图/九派新闻记者 王晶
【1】本地企业:平台牵线拓展客户获得新订单
“我们原本是九峰山实验室的供货商,现在又通过这个平台链接到很多新的客户。”武汉驿天诺科技有限公司董事长兼总经理单娜介绍,他们是一家专注于光电集成技术的“瞪羚企业”,拥有成熟的量产级硅光及三代半封测设备系统集成及应用经验。我们与九峰山实验室合作开发了一个面向三代半的设备,现在已经在九峰山实验室投用,并已经通过了可靠性测试。
“其实做设备最重要的是一个快速的产业反馈。在国内来讲,这种机会应该是非常稀缺的。我们非常感谢九峰山提供这样的机会。”单娜说,和九峰山的合作大幅催化了产品量产的进程。他们的设备在实验室用,再通过产品的测试,可以得到一个非常快速的反馈,让他们知道设备的差异点在哪里,不足在哪里。同时,他们也能帮助实验室做好晶圆检测的拦截。单娜表示,在九峰山实验室平台的引荐下,公司已经拓展了一批新客户,获得了一批订单,下一步还会入驻九峰山科技园区,进一步扩大经营规模。
【2】外地企业:不远千里来合作,与研发平台牵手共赢
展会现场,上海邦芯半导体科技有限公司CEO王兆祥介绍,公司成立于2020年,是一家专注于半导体设备研发和国产化的创新型企业。公司投入了非常多的资源和人力去开发适用于碳化硅产业的半导体装备。目前已经取得了五六款产品的开发和市场化的成绩。“国产化装备,尤其是对我们这种初创企业来说,产品装备如果搬到成熟产线进行量产的话,其实是有风险的。”王兆祥表示,武汉九峰山实验室正好构建了这样一个平台,能够提供这样的条件,让我们的机台通过这种小量的测试,再到中量的测试。最后,我们可以信心满满地把产品以最短的时间推到成熟的产线。
上海邦芯半导体科技有限公司CEO王兆祥。图/九派新闻记者 王晶
“我觉得九峰山在创造一种新的产业发展的生态和理念。怎么样和设备商一起来共赢发展?这种理念我们非常认同,愿意不远千里来武汉和九峰山一起长期合作。”王兆祥介绍,今年公司的介质刻蚀机也顺利搬入了九峰山实验室,同时公司还和九峰山旗下的“天工开物”检测实验室有很多合作,该公司的刻蚀、沉积、薄膜的样品也会拿到九峰山来测试。“我们的合作也是实现了你中有我,我中有你。”王兆祥说。
爱发科商贸有限公司市场战略中心负责人王禹。图/九派新闻记者 王晶
爱发科商贸有限公司是一家总部在日本的以提供真空技术解决方案的公司,主要在半导体行业的前后道工艺方面提供相关设备。公司市场战略中心负责人王禹介绍,公司做的平板显示液晶市场占比很高,“经过长期的开发和积累,我们现在不单以设备为基础去重点推广,我们更在意的是如何能给客户提供一个更加全面完善的优质解决方案,让他们不再需要花这么多时间自己拼凑起一条产线。”王禹介绍,武汉在半导体行业发展过程中快速崛起,我们在武汉也有分支机构,武汉行业内有很多我们的客户,九峰山也是我们很好的合作伙伴,我们走在一线真正感受到这里市场前景很好,未来一定会加大在武汉的投资布局。
【3】行业大咖:武汉发展化合物半导体产业速度惊人潜力巨大
“最近几年,武汉发展化合物半导体产业的速度是惊人的。”美国国家工程院院士、香港科技大学讲席教授刘纪美表示,多年前曾因学术交流来过武汉,这次再来感觉武汉发展得很快,化合物半导体产业更是跑出了“中国速度”,这将为中国带来巨大的发展潜力。
“我明显感觉这两年武汉在化合物半导体产业上发展速度比其他城市快。”第三代半导体产业技术创新战略联盟理事长吴玲告诉九派新闻,去年,在信息、能源领域,化合物半导体行业发展势头很猛,需求量增大,越来越受到更多产业的重视。“听说武汉早在几年前就建立了数据中心、算力中心,能有这种超前意识令人敬佩。”吴玲称,武汉成立九峰山实验室,作为一个第三方的开放平台,既打通了全链条,又在生产化的设备上做研发,可见武汉很有魄力。这对行业的支撑,对企业技术迭代研发都起到了非常好的支撑作用。吴玲建议,下一步,武汉应该在现有的产业基础上通过已有的平台和市场,推动产业集群化,进一步完善标准、检测、认证等,建立更好的产业体系和生态。
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