2023-02-14 00:37
应该是[11-20]晶向,偏8度吧,我猜你问的应该是有关SiC生长的问题吧
SiC是六方晶系, [11-20]是六方晶系里的一个面,如下图
偏8度是指切割衬底的角度与底面呈8度角,主要是为了人为切出台阶(台阶流生长模式),减少外延生长过程中多晶的形成。具体的你还得自己搜索一下台阶流生长模式。